達摩
菩提達摩，天竺（印度）人。梁大通元年（527年）從廣州登陸，到中國傳播佛教。達摩渡長江入北魏境，先遊歷了洛陽，後到少林寺，在五乳峰上一個石洞裡面壁靜修，時間長達九年。他依據大乘派教義，融匯中國精神，開創了中國佛教禪宗，被尊為初祖。在眾多求教者中，達摩選擇將衣缽傳給了慧可。東魏天平三年（536年）達摩圓寂，葬於熊耳山，立塔於定林寺。
僧稠，昌黎人，俗姓孫。先在巨鹿景明寺出家，拜治實為師，後到少林寺拜跋陀為師。僧稠少時體質較弱，後發憤習武，練得拳捷驍勇，體輕身靈。他理解極快，學佛成績卓著，被跋陀讚為「蔥嶺以東，禪學之最！」他後來在嵩岳寺講經說法，影響很大。
慧可
洛陽虎牢人，俗姓頤。他幼年出家，通曉佛典。四十歲時拜菩提達摩為師。為表求道決心，慧可竟用刀自斷左臂，奉獻達摩座前。感其赤誠，達摩授法器、賜法名，收他為傳法弟子。慧可是為禪宗二祖。他在少林寺西南山上養傷時的住所和石臺，後成為二祖庵和養臂臺，遺蹟尚存。
福裕，號雪庭，山西文水人，俗姓張。九歲入學，理解力極強，鄉里人稱他為「聖小兒」。出家後拜休林為師。元世祖慕其名德，命他住持少林寺。元憲宗時授他都僧省之符，命他總領天下僧眾。他率眾修復了嵩山一帶因戰亂毀壞的寺院，常被後人尊為少林寺中興之祖。他於元至元十一年（1274年）圓寂。元皇慶元年（1312年）被追封為大司空、是府儀同三司並晉國公。
緊那羅
緊那羅，不知其來歷。據《嵩書》記載：「至正初（1341年）忽有一僧至少林，蓬頭裸背跣足，止著單褌，在廚中作務。……至十一年辛卯（1351年）三月二十六日，潁州紅巾賊率眾突至少林，欲行劫掠，此僧乃持一火棍而出，變形數十丈，獨立高峰，賊眾望見，驚怖而遁。僧大叫曰：『吾緊那羅王也！』言訖遂沒。人始知為菩薩化身也。」緊那羅在少林寺地位極重，寺中有緊那羅殿和其塑像，被尊為少林護伽藍神。
法如，上黨人，俗姓王。幼年隨舅父到豐陽，先事青布明為師，十九歲時出家。經青布明指點，他又投禪宗五祖弘忍為師，侍奉前後共十六年，直至弘忍滅度。之後他北遊嵩岳，在少林寺住下，唐永昌元年（681年）圓寂。他被認為是傳自弘忍的又一位禪宗六祖，塔在少林寺東側許塔溝村口。
慧光（487∼536）
慧光，長盧人，俗姓楊。十三歲時隨父入洛陽，後被跋陀收為弟子，不久在少林寺出家。他為跋陀所譯佛經註疏，刻版印刷，又因他學佛心領神會，向人傳授講解透徹，被稱為聖沙彌。他圓寂於河北鄴郡。
洪遵(530∼608)
洪遵，相州人，俗姓時。他八歲到少林寺出家，跟從師父資雲。後被北齊朝庭封為斷事沙門，負責處理僧人違反佛教戒律之事。隋時，文帝也封洪遵為官，但他仍住在少林寺內。隋文帝開皇七年（587年），洪遵被舉召赴京，與印度僧人一起譯經。
慧安（?∼709）
慧安，荊州支江人，俗姓李（一說姓衛）。隋開皇十七年（597年）搜勘天下私度僧尼，慧安遁往山中。為挖大運河，隋大業年間追集丁夫，餓殍相枕，慧安乞食救濟飢民。隋煬帝聽說後詔見慧安，他又潛藏起來，到衡岳寺去做頭陀。唐貞觀年間，他往黃梅謁見禪宗五祖弘忍，之後遍歷名山，並在少林寺住下。唐神龍二年（706年），他被招入宮庭，三年後辭歸，不久圓寂。
報恩（1058∼1111）
報恩，黎陽人，俗姓劉。他生於碩儒世家，從小就通治國方略，考試登第。他厭倦塵境，向朝庭辭官，出家為僧，朝庭准從了他的請求。於是他傾心於禪宗祖道，謁訪諸多高僧。後來當朝丞相請他到少林寺講經開示，不久他又應詔在少林寺住下，參禪說法。
教亨（1150∼1219）
教亨，號虛明，濟州任城人，俗姓王。七歲在崇覺寺出家，十三歲受大戒，十五歲外出遊方。他先後出入過五座道場：嵩山戒壇寺，韶山雲門寺，鄭州普照寺，林溪大覺寺和嵩山法王寺。後應請住持少林寺。但不久他又引去，徜徉於嵩少間數年。金興定三年（1219年）圓寂。
同光（700∼770）
同光，山西人。弱冠出家，二十六歲受其足戒。他投會善寺普寂為師，後入少林寺，宣法開示二十餘年，震動遐邇。安史之亂時，他似避禍於荊州。唐大歷五年（770年）圓寂於少林寺。
法玩（715∼790）
法玩，山西人，俗姓張。十八歲時學道於普寂禪師，二十歲時受具足戒。普寂謝世後，法玩有時住在嵩山，有時去洛陽。唐貞觀六年（790年）八月十三日，法玩於洛陽大敬愛寺圓寂。塔在少林寺西側。
文才（1273∼1352）
文才，號淳拙，臨汾人，俗姓姚。其父為居士。文才年歲稍長，即請學佛，父母從其志，送他出家剃度。他謁訪少林寺的還源福遇，執侍多時，後又到龍門山讀經三年。接著他隱居於終南山中。元泰定元年（1324年），被請出住持少林寺，但他於元天歷二年（1329年）辭退。到了元至正五年（1345年），他又被請出再任少林寺住持，七年後圓寂。
邵元
邵元，號古源，俗姓源。他原是日本國山陰道但州正法禪寺住持，元泰定四年（日本嘉歷二年，1327年）來中國。先在福州，後到天台山、天目山、五臺山遍訪名僧，元天歷二年（1329年）到嵩山少林，長住二祖庵達二十一年。他在少林寺任書記之職，曾為息庵義讓行實碑撰文，並為菊庵法照塔撰文作書；他還曾作為全國百名高僧之一到京師宮裡參與大藏經的翻譯。邵元於元至正七年（1347年）返回日本。
了改（1335∼1421）
了改，號凝然，嵩陽金店人，俗姓任。十四歲時拜少林寺提點訓公為師，二十一歲時受戒。他曾在香山參訪月印長老，後到天慶寺跟從松庭禪師。明洪武二十三年（1390年），了改任少林寺住持，三年後辭退，但仍駐少林寺，直到圓寂。
文載（1454∼1523）
文載，號月舟，北畿通州人，俗姓王。九歲入鄉校，十三歲出家，拜白庵為師。二十歲時出遊參學，三年後回還，閉門不出，讀經習靜。他又到少林寺參叩無方可從，三年後更遍參京城諸多禪師。明弘治年間，文載住白塔精舍內閱大藏經。明正德三年（1508年），祠部任命文載住持少林寺，前後十六年，直到圓寂。
悟須（?∼1563）
悟須，號匾囤，一號無空，禹州人，俗姓陳。年過二十後辭父母出家，入少林寺，以梵僧喇嘛為師。十數年後辭別師父，到中條山中修行三個月，接著在峨嵋山巔住下。後來他又遍游全國，到京城，居吉禪庵中，印造了大彌陀經若干藏。不久他重回少林寺。嘉靖四十二年（1563年）他再次離開少林寺去峨嵋山，行至州江中時坐地圓寂。悟須是明代著名的十八武僧之一，他的骨灰歸回了少林寺，建塔埋葬。
正道（1547∼1609）
正道，字無言，洪都新建人，俗姓胡。他開始在上藍寺出家，拜和尚為師。二十歲後跟從知休禪師，住在南嶽淨瓶崖。知休指點他參謁遜庵，後又指點他到少林寺參謁幻休常潤。正道於明神宗萬曆二十二年（1594年）被祠部任命為少林寺住持，前後十七年，直到圓寂。
恆林（1865∼1923）
恆林，號雲松，伊川宋寨人，俗姓宋。光緒初年入少林寺為僧，民國元年被任命為登封縣僧會司僧會，後又被推選為少林保衛團團總。任職後數年間購置槍枝，訓練武裝，打擊土匪，備嘗辛苦。民國十二年（1923年）秋，積勞致疾，卒於職。
行正（1914∼1987）
行正，字願安，登封城關劉莊人，俗姓李。1920年在少林寺出家，1932年在九華山東崖寺受戒。後任河南省佛教協會理事，少林寺住持。文革期間，行正採取轉移地點、埋藏地下等方法，保存了一批少林寺文物。1986年，他被正式任命為少林寺方丈，結束了自清康熙以來少林寺無方丈的歷史。他於1987年圓寂。
