荷兰阿斯麦(ASML)支持台积电在台设EUV培训中心


【看中国2020年8月21日讯】荷兰半导体制造设备商阿斯麦ASML)8月20日于台湾启用其海外最大的EUV(极紫外光)全球技术培训中心,该中心的总投资金额为1350万欧元,可以就近为其最大客户台积电提供技术上支持。该中心座落于台南科学园区,台积电最先进的5奈米厂区就在10分钟车程内。

阿斯麦是世界上唯一有能力制造EUV机台的半导体设备商,晶圆制造厂如台积电、三星,要想生产出最先进的芯片,就得靠着这家荷兰厂商的设备。过去,台积电、三星的EUV工程师得至荷兰总部接受数月的培训,但该培训中心开幕后,每年能为其客户培养360位EUV技术工程师。

阿斯麦全球副总裁暨台湾区总经理陈文光在开幕典礼致词时说,该中心不仅让在台湾的营运和服务项目更多元化,也实现其全力支援客户先进制程开发与量产的承诺。他强调:“我们一直希望可以更靠近客户,再加上台积电现在有(全世界)最大的装机规模,我们认为在这里训练工程师有很大的需求。”

陈文光在接受美国之音提问时说:“我们在台湾就一直是会扩大R&D(研发)的。”他更透露,阿斯麦在未来三年计划在台南扩大研发中心的投资,将目前280位的研发人员增加至500人。

EUV机台是晶圆制造厂能否维持领先的关键之一,每台造价超过一亿美元的EUV机台,不仅台积电与三星(Samsung)两大晶圆厂要争相抢购,连中国最先进的中芯半导体也盼望取得。2020年,阿斯麦只计划出货35台EUV机台,根据日经亚洲评论报导,其中超过20台会出货给台积电。

台积电营运副总经理王英郎在致词时表示,他们一直希望阿斯麦能在台南设立培训中心。他说:“(这是)半导体史上最复杂、最精密的机台,因为有这个机台,让我们的芯片进步很多。”

台湾的经济部部长王美花接受媒体联访时说,归功于台湾的防疫表现,今年1月至7月外资来台投资已累计44亿美元,相较去年同期增加10%,外资投资情形持续增加。她强调:“特别像阿斯麦这种设备厂商、或者跟半导体相关的材料厂商,这个都是我们现在要去积极引进外商来台湾(的)投资,让台湾的半导体的生态系越来越完整。”

蔡英文政府当前的产业政策目标是将台湾打造成“亚洲高阶制造中心”与“半导体先进制程中心”。台湾经济部在今年7月提出计划,希望透过外商设备在地化,扶植台湾半导体设备与材料产业。

路透社今年1月报道,美国国务卿蓬佩奥(Mike Pompeo)去年曾游说荷兰政府,希望荷兰不要贩售半导体设备给中国,不久之后,荷兰政府停止更新阿斯麦的出口许可。阿斯麦未曾公开客户讯息,但业界公认, 下单EUV机台的 中国客户为中芯半导体。

阿斯麦8月20日提供给美国之音的最新声明中表示,荷兰政府仍在审核EUV机台出口中国的许可,目前该公司还无法出货EUV机台至中国。



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