中国秘密推进EUV光刻机 美欧加紧构筑技术联盟应对(图)
在深圳一处安保严格的实验设施内，中国科研人员正在测试一台极紫外光（EUV）光刻机原型。该设备于2025年初完成组装，目前仍处于验证阶段，尚未实现芯片量产。...
极紫外光（EUV）光刻机
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